Soldadura de obleas
SB6L
Sistema de soldadura de obleas manual
No hay por que comprometer la eficacia en un soldador de obleas manual. El SB6L usa la misma tecnología de soldadura en su interior, que los más automáticos soldadores de Suss, incluyendo su precisión de temperatura y control de fuerza durante el soldado. La cámara de de soldadura por si misma tiene la misma rigidez y paredes de cámara electro pulidas, platos de presión de silicio de carburo, y nivelación de precisión de los chucks.
Suss ha demostrado facilidades en su software para una fácil transmisión de la I+D a la pre-producción o incluso procesos de producción completamente automáticos.
La máquina SB6L viene en un marco de metal con una cámara de vacío, control electrónico, y un ordenador integrado, dando una imagen de integración profesional. Es compatible con la larga base instalada de alienadoras MA/BA (alrededor de 1.300 en este campo hoy en día), con un sistema de figuras de diseño abierto, de manera que no se tiene por que invertir en tecnología de alineamiento o figuras para construir sus capacidades de soldadura.
Características y Beneficios :
· Hasta 1 micra de capacidad tras alineamiento de soldadura permitiendo un mejor rendimiento y abriéndose a nuevas aplicaciones.
· Una cámara diseñada para todos los tipos de proceso: incluyendo anódica, frito de vidrio, termo compresión, SOI, polímeros y soldadura por adhesivo, ofreciendo lo último en flexibilidad.
· Los procesos desarrollados en el SB6L son compatibles con un alto volumen de sistema de acumulación de soldadura de Suss, para una fácil transmisión de la tecnología.
SB6/8e
Sistema de soldadura de obleas semiautomático
El SB6/8e es un sistema de soldadura de obleas semiautomático, controlado por ordenador, en un solo módulo y diseñado para obleas de 150mm o 200mm. Las características del sistema SB6/8e como su rígida cámara de vacío para ser el mejor de su clase en la precisión de alineamiento de soldadura posterior, calentadores de sustratos independientes superiores e inferiores, y una programación precisa del control de la fuerza durante el proceso de soldadura de obleas.
Un brazo cañón de carga de obleas simplifica la carga y descarga de las obleas alineadas en el sistema de vacío. Combinado con el sistema de alineamiento de soldadura de SUSS BA6 o BA8 el SB6e y SB8e da un alineamiento de soldadura posterior mayor, así como control sobre la fuerza y temperatura. Es ideal para MEMS, SOI, nivel de empaquetamiento de obleas y aplicaciones de optoelectrónica.
El SB6/8e puede ser equipado con figuras de herramientas para todos los procesos conocidos de soldadura para sustratos desde 20x20mm hasta 200mm de diámetro. Adicionalmente, la cámara del SB6e y SB8e, las herramientas y las figuras son usadas en las herramientas almacenadoras de producción, como en la ABC200, esto permite un fácil proceso tecnológico de transferencia de tecnología de un volumen de producción bajo a una producción en masa.
Características y Beneficios :
· Ideal para todos los procesos de soldadura de obleas incluyendo anódica, eutéctico, adhesivo, fusión, SOI y termo compresión.
· Encajando para todo tipo de sustratos y obleas hasta 200mm de diámetro, y 6mm de grosor.
· Una alta precisión de soldadura de alineamiento posterior, asegurada por la figura de transporte de SUSS con un sistema de sujección automático en combinación con las alineadoras de soldadura SUSS BA6.
· Hasta una micra de precisión en alineamiento de soldadura posterior con la opción de pre soldadura para la BA6/8 para la soldadura anódica con múltiples obleas.
· Control del entorno de soldadura, del vacío o del gas de ambiente.
CB8
Soldador de obleas semiautomático
El paquete de alto rendimiento del CB8, incluyendo lo último en uniformidad de presión, estabilidad de alineamiento, y rendimiento térmico superior, descansan en una nueva y revolucionaria plataforma de patentes tecnológicas, continuando con la filosofía de SUSS "Superior por Diseño".
El alto rendimiento del CB8 diseñado para procesos y aplicaciones críticas ha sido construido usando varias claves de innovaciones tecnológicas, todas ellas únicas en SUSS. Diseño de la columna de presión lo que asegura lo último en presión de uniformidad, y es confirmado vía verificación de carga de celda. Capacidad de Compensación de Error de apilamiento lo que nos da un perfecto paralelismo en todas las soldaduras. Un sistema de vacío único de aislamiento de calor lo que permite una rápida e incluso alto rendimiento de calor y capacidades de enfriamiento. Todas estas tecnologías descansan sobre una extremadamente rígida súper estructura de 3 postes como estructura de soporte de carga lo que nos da lo último en estabilidad y solidez de alineamiento.
Características y Beneficios :
· Alto rendimiento en soldadura de obleas, lo mejor en su clase en uniformidad de presión, uniformidad de temperatura y estabilidad de alineamiento.
· Superestructura de carga rígida de 3 postes dando la máxima estabilidad en alineamiento superior y capacidad de fuerza (90 kN por 200mm. de oblea).
· Tecnología de columna de presión para aplicar una fuerza extrema y lo mejor de su clase en uniformidad (+/-5%).
· Aislamiento de vacío, múltiples zonas de calentamiento permitiendo un rápido calentamiento de (30ºC/min) y rápido tiempo de enfriamiento asegurando una excelente uniformidad de temperatura (+/-1%).
· Compensación de errores en apretamiento en pares de obleas antes de la soldadura nos asegura la estabilidad en el paralelismo y alineamiento.
ABC200
Soldador de obleas automático por sistema de módulos
Los módulos del SUSS ABC200 para la soldadura automática de obleas, ofrece un rendimiento en el proceso mayor y una productividad sin igual. Configurable para obleas de hasta 200mm de tamaño, el sistema ABC200 esta basado en diferentes módulos que pueden ser puestos juntos de acuerdo a las diferentes necesidades y aplicaciones. La operación totalmente automatizada de cassette a cassette abre las puertas a un alto volumen de producción sin igual en este campo.
Esta generación modular de ABC200 soldador de sustratos soporta todas las tecnologías comunes de soldadura, asi como aplicaciones mixtas y esta especialmente diseñado para optimizar la soldadura de alineamiento por fusión, adhesiva, termo compresión y triple apilamiento soldadura anódica.
La ABC200 ofrece operación ininterrumpida mientras se llevan a cabo múltiples recetas y fluyen diferentes procesos. Todos los sistemas de módulos tienen unas dimensiones reducidas y requerimientos de espacio con una mínima huella de configuración de 1.2m x 1.4m. El sistema puede ser rápidamente reconfigurado en su sitio añadiendo o reemplazando módulos para las crecientes necesidades de producción o los cambios de tecnología incluyendo metrología in-situ.
Características y Beneficios :
· Configurable para obleas de hasta 200mm.
· El layout mas pequeño (con 1.2m x 1.4m hasta 6 módulos disponibles).
· Operación ininterrumpida mientras se llevan a cabo diferentes recetas y fluyen múltiples procesos ( soldadura anódica, eutéctica, fusión de silicio, adhesiva, termo compresión o fritura de vidrio).
· Diferentes configuraciones en diferentes cámaras permiten funcionar al mismo tiempo con diferentes procesos de soldadura, por ejemplo soldadura anódica con triple apilado y en un segundo paso soldadura eutéctica.
CBC200
Soldador de producción de obleas para la producción 3D de interconectados y avanzados MEMS
Diseñado para la producción avanzada de MEMS y soldadura de obleas en 3D, la CBC200 es completamente automatizada, la mejor en su clase, con un módulo de soldadura de obleas de hasta 90kN en fuerza de soldadura y una capacidad térmica de 500ºC. Todos los procesos en fabricación de MEMS, así como los emergentes, eutéctico, fusión, y soldadura por difusión para integración de dispositivos pueden ser llevados a cabo con bajo coste para los propietarios.
La CBC200 ofrece operación ininterrumpida mientras lleva a cabo múltiples recetas y mientras fluyen múltiples procesos. Todos los módulos del sistema pueden ser rápidamente reconfigurados en el sitio, para añadir o reemplazar módulos para mantener el espacio, debido a las crecientes necesidades de producción o cambios en los requerimientos de la tecnología.
Características y Beneficios :
· Fuerza de soldadura de 90kN y temperaturas de 500ºC con precisión, control y uniformidad.
· Precisión de alineación para soldadura metálica de +-1.5micras.
· Probado diseño de módulos ganador, galardonado en concepto y software para la realización de producción 24h/7d.
Soldador de obleas permanente o temporal para 300mm
El soldador de obleas de producción XBC300 ofrece un precio de comienzo bajo así como flexibilidad para configurar el proceso para 300mm con todos los procesos comunes y opciones para soldadura permanente o temporal. Este innovador diseño de módulos esta compuesto por 3 módulos que pueden ser fácilmente intercambiables en el sitio para acomodar los cambios del proceso a las necesidades de producción. Los módulos de proceso son configurables para la mayor parte de procesos de soldadura necesitados de las aplicaciones en 3D, como soldadura Cu-Cu, polímeros, fusión y soldadura temporal para manipular obleas finas. Un gran rango de procesos de soldadura temporal y materiales son soportados por la XBC300.
La XBC300 llega a dar un alineamiento posterior de submicra para la fabricación de alta densidad y pequeño pitch TSV. Presión y temperatura son aplicados a lo largo del 100% de la oblea con todos los mecanismos de sujección y clipeado fuera del área de la oblea para maximizar el rendimiento del dispositivo.
El software de SUSS para módulos 7.0 puede trabajar con varias recetas desde el mismo cassette, y es capaz de cargar nuevas recetas sin la necesidad de esperar a la descarga. El software intuitivo también permite una fácil programación de las recetas del proceso.
Características y Beneficios :
· El diseño modular permite conseguir una genial flexibilidad y proteger la inversión.
· Una amplia elección de módulos de procesado para una soldadura temporal o permanente.
· Una alta rentabilidad con un pequeño espacio.
· La precisión de alineamiento alcanzara el camino TSV hacia el 2012.
· El software propio de SUSS de módulos 7.0 ahorra tiempo de desarrollo y reduce el tiempo de preparación y de entrenamiento.
NOMBRE: YENNY MEDINA
C.I 19847659
MATERIA: CAF
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