Resonador MEMS

Seiko Instruments desarrolla resonador de MEMS

Un resonador es un dispositivo que es indispensable en modernos productos electrónicos tales como computadoras, aparatos digitales y dispositivos de telecomunicaciones. En la actualidad, los resonadores que el uso cristales de cuarzo se utilizan principalmente debido a su peso ligero y altamente precisa, estable y propiedades de frecuencia. Investigación de nuevos resonadores de silicio basado muestra que una mayor miniaturización y reducción en el costo puede ser posible mediante el uso de Procesos de MEMS para la fabricación de material de silicio.

Dependencia de la temperatura alta de la frecuencia de resonancia de silicio basado en resonadores plantea un gran desafío. Más específicamente, debido a factores como la expansión térmica y la dependencia de la temperatura del módulo de Young, su frecuencia de resonancia varía cuando hay un cambio en la temperatura y, en general tiene un coeficiente de temperatura - 40 ppm / ° C. Esto significa que para el límite de temperatura de funcionamiento (-40 ° C ~ 80 ° C), la frecuencia de resonancia fluctuará en el rango de 5000 ppm, lo que es muy difícil garantizar la frecuencia de salida exacta en el resonador.

A fin de garantizar la frecuencia de salida precisa, un circuito eléctrico debe ser utilizado para compensar el cambio en la frecuencia de resonancia, como consecuencia de las fluctuaciones de temperatura. Esto crea un problema en el diseño de bajo consumo de energía y la miniaturización. Además, el uso de la circuito eléctrico de manera sustancial compensar las fluctuaciones de temperatura también conduce a la aparición de ruido en la salida.

Ahora, Seiko Instruments es que afirman haber desarrollado con éxito la tecnología de fabricación que puede mejorar el problema de la dependencia de la temperatura de la frecuencia de resonancia en resonadores de silicio basado en MEMS, añadiendo una capa de película de dióxido de silicio para fabricar el resonador de MEMS en el SOI (silicio sobre aislante) sustrato, y empleando una estructura que producen estrés residual dentro del resonador.

Alberto J. Quiroz M

C.I: v-17.527.276

http://www.memsinvestorjournal.com/2010/03/seiko-instruments-develops-mems-resonator.html#more

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