La activación y detección piezoeléctrica están basadas en el efecto piezoeléctrico inverso y el efecto piezoeléctrico directo, respectivamente. Un material piezoeléctrico provee su propia polarización interna, o debido a la ausencia de un centro de simetría en materiales cristalinos (tales como nitruro de aluminio (AlN) u oxido de zinc (ZnO)), o a una polarización permanente en el caso de materiales ferroeléctricos, tales como ferroeléctricos de la familia titanato zirconato plomo (PZT). El efecto piezoeléctrico inverso se manifiesta como una deformación mecánica en el material si este se somete a un campo eléctrico. Luego de aplicar un voltaje V la capa piezoeléctrica fija encima de una viga voladiza como en la Figura 6, se induce un momento de doblamiento equivalente MPE en la punta. El momento de doblamiento ocasiona el que la viga voladiza se doble con una desviación d=MPEl2/2EI, donde EI es la rigidez de doblamiento equivalente y l es la longitud de la viga. Para el caso en que la capa piezoeléctrica es mucho más delgada que la capa portadora y el efecto mecánico de los electrodos es despreciable.
Alberto J. Quiroz M
C.I: v-17.527.276
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