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Subject: Multi-Nivel, Sistemas planarized polisilicio-on-a-Chip
Date: Fri, 19 Nov 2010 19:52:49 -0400
Multi-Nivel, Sistemas planarized polisilicio-on-a-Chip
Micromotor
Actuadores micromecánico no he visto el uso de la amplia industria de que los sensores micromecánicos han logrado. Dos bloques principales obstáculos a su aplicación generalizada ha sido bajo par y la dificultad en las herramientas de acoplamiento a los motores. Sandia National Laboratories desarrollaron dispositivos que superar estas dificultades. Nuestra capa de polisilicio proceso de tres micromecanizado 11,12 hecho posible la fabricación de dispositivos con mayor complejidad mucho mayor que la capacidad de las herramientas par de motores.
El proceso de tres capas que incluye tres niveles de muebles de polisilicio, además de una capa estacionaria para un total de cuatro capas de polisilicio. Las capas de polisilicio están separados entre sí por capas de óxido de sacrificio. Un total de ocho capas de máscara están involucrados en este proceso. Una capa adicional de reducción de fricción de nitruro de silicio se coloca entre las capas que forman las superficies de rodamiento. Todo el sistema es impulsado por la transmisión de señales de unidad que es de 90 ° fuera de fase con uno de los accionadores del peine de unidad. El engranaje pequeño ha sido operado a velocidades superiores a 300.000 revoluciones por minuto. La vida operativa de estos pequeños dispositivos pueden exceder 8x10 8 revoluciones. El engranaje pequeño se muestra la conducción de un mayor tamaño (1,6 mm de diámetro) el arte de 13 en la
Microtransmission
Para aumentar el par motor disponible en un disco giratorio, una multi-capa microtransmission se desarrolló. cuenta con juegos de grandes y pequeños engranajes montados en el mismo eje que la malla con otros conjuntos de engranajes para transferir el poder al mismo tiempo proporcionar la multiplicación del esfuerzo de torsión y la reducción de velocidad.
Micromirror
El micromotor en combinación con el microtransmission se puede utilizar para conducir un pop-up espejo, fuera del avión. Con el aumento de par resultante de esta combinación, el espejo puede ser elevado por el mecanismo, por sí solo - sin manipulación desde el exterior a través de sondas
Actuadores micromecánico no he visto el uso de la amplia industria de que los sensores micromecánicos han logrado. Dos bloques principales obstáculos a su aplicación generalizada ha sido bajo par y la dificultad en las herramientas de acoplamiento a los motores. Sandia National Laboratories desarrollaron dispositivos que superar estas dificultades. Nuestra capa de polisilicio proceso de tres micromecanizado 11,12 hecho posible la fabricación de dispositivos con mayor complejidad mucho mayor que la capacidad de las herramientas par de motores.
El proceso de tres capas que incluye tres niveles de muebles de polisilicio, además de una capa estacionaria para un total de cuatro capas de polisilicio. Las capas de polisilicio están separados entre sí por capas de óxido de sacrificio. Un total de ocho capas de máscara están involucrados en este proceso. Una capa adicional de reducción de fricción de nitruro de silicio se coloca entre las capas que forman las superficies de rodamiento. Todo el sistema es impulsado por la transmisión de señales de unidad que es de 90 ° fuera de fase con uno de los accionadores del peine de unidad. El engranaje pequeño ha sido operado a velocidades superiores a 300.000 revoluciones por minuto. La vida operativa de estos pequeños dispositivos pueden exceder 8x10 8 revoluciones. El engranaje pequeño se muestra la conducción de un mayor tamaño (1,6 mm de diámetro) el arte de 13 en la
Microtransmission
Para aumentar el par motor disponible en un disco giratorio, una multi-capa microtransmission se desarrolló. cuenta con juegos de grandes y pequeños engranajes montados en el mismo eje que la malla con otros conjuntos de engranajes para transferir el poder al mismo tiempo proporcionar la multiplicación del esfuerzo de torsión y la reducción de velocidad.
Micromirror
Nombre: yenny medina
c.I 19847659
Materia: circuitos de alta frecuencia
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